睿励第二台300mm全自动精密薄膜线宽测量系统设备向三星电子交付

字体: | 发布时间:2018-09-12

 

2018831日,睿励科学仪器(上海)有限公司研制生产的300mm全自动精密薄膜线宽测量系统TFX3000设备从张江创业源生产基地向西安三星电子发货。这是今年发送给三星电子的第二台设备(第一台于今年56日发送至客户),这也是睿励向这家全球最大和最领先的集成电路制造企业出售的第7台设备,其中三星中国5台,韩国2台。

 

↑睿励自主研发的300mm全自动精密薄膜线宽测量系统TFX3000

 

2013年睿励自主研发的300mm全自动精密薄膜线宽测量系统TFX3000产品实现销售,打破了集成电路工艺检测设备长期被国外厂商垄断的局面。当前,公司TFX3000产品已经安装应用到国际最领先的3D  闪存生产线。睿励的TFX3000产品是唯一进入三星电子的全球最先进生产线的中国设备。睿励员工们为产品能够带着五星红旗标志进入三星工厂而深感自豪。在三星电子生产线上残酷而直接的巅峰对决中,睿励的产品在一些主要性能方面超越了国际垄断厂家,解决了生产线上存在的一些问题,因此在2018年陆续获得了重复采购订单。该公司其他客户分布于中国国内各大半导体制造厂及韩国的知名企业。

 

2018年陆续获得了国际最领先企业重复采购订单,在数月的时间内,于8月31日连续成功再次发货。

 

睿励科学仪器(上海)有限公司创办于2005年,是在国家和上海市政府的大力支持下,由留学生团队创办和管理的集成电路装备制造企业。主营业务为研发、生产和销售具有自主知识产权的集成电路生产工艺检测(测量和检测)设备。该公司拥有100多项专利,其中授权中国发明专利34项,授权美国发明专利3项。

睿励作为责任单位承接了国家02科技重大专项、国家高技术产业发展计划项目、上海市科教兴市、上海市战略性新兴产业发展重大项目等项目。在承接的国家02科技重大专项项目在通过评审验收后,睿励被评为“国家02专项科技成果的标志性企业”之一,全国共有4家企业获此殊荣。2015年,睿励得到了国家集成电路产业投资基金的支持。

睿励的产品已经成为了国际领先的集成电路生产线的标准配置设备。未来,睿励将继续深化和各家集成电路制造企业的合作,持续推进新产品的研发并对量产设备迭代升级,提升企业的国际竞争力,抓住当前的市场机遇,全力扩大市场份额。